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TECHNICAL ARTICLES視頻測量顯微鏡的分辨率和CCD有哪些關(guān)系 CCD用于寬場成像時(shí),二維成像系統(tǒng)的分辨率不僅與光學(xué)分辨率有關(guān),還與CCD的單個(gè)物理像素大小有關(guān)。光學(xué)橫向分辨率由公式0.61λ/NA計(jì)算可知約為200nm,即可分辨的兩個(gè)點(diǎn)...
CCD用于寬場成像時(shí),二維成像系統(tǒng)的分辨率不僅與光學(xué)分辨率有關(guān),還與CCD的單個(gè)物理像素大小有關(guān)。光學(xué)橫向分辨率由公式0.61λ/NA計(jì)算可知約為200nm,即可分辨的兩個(gè)點(diǎn)橫向空間距離不得小于200nm。假如用100×物鏡,可分辨的兩個(gè)點(diǎn)空間距離則為20μm。用CCD成像,不難理解,若想分辨這兩個(gè)點(diǎn),每個(gè)物理像素不能大于20μm,但實(shí)際情況是由于不能控制兩個(gè)像點(diǎn)投射在靶面的位置,因此一般采用“倍頻"原則,每個(gè)像素大小為對應(yīng)物鏡光學(xué)分辨率的一半,即選用100倍顯微鏡物鏡下10μm大小的像素就可與光學(xué)分辨率極限匹配。這樣不管像點(diǎn)投射在何處,CCD也可以分辨,原理如圖所示。因此,原則講數(shù)碼成像時(shí)單個(gè)物理像素越小,空間分辨率越高,但不能無限小,否則導(dǎo)致量子效率、滿井容量都會(huì)降低,反而不利于成像,需要一個(gè)合理的折中。 單個(gè)物理像素大小為16μm×16μm,在100×物鏡下只能說基本與光學(xué)分辨率匹配。根據(jù)“水桶原理"可知,此時(shí)空間分辨率已經(jīng)不再受限于光學(xué)分辨率,而是被單個(gè)物理像素大小所決定。目前市場上的工業(yè)相機(jī)單個(gè)物理像素基本都是10um以下的,所以100倍物鏡下,工業(yè)相機(jī)分辨率肯定是夠用了。 另外說一句:單純的強(qiáng)調(diào)工業(yè)相機(jī)有多少萬像素沒有意義,跟分辨率沒有直接關(guān)系,只能說在CCD成像面積一定情況下,像素越多,分辨率越高。因此,判斷工業(yè)相機(jī)的分辨率好壞最關(guān)鍵指標(biāo)還是單個(gè)物理像素的大小,此時(shí)像素越多,說明獲得空間信息量越大。
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